BLD 高纯净型压力表

BLD 高纯净型压力表

 
YTJ 高纯净型压力表主要应用于半导体领域。产品根据洁净度等级，可分为 (YTJA) A 级 (YTJB) / BA 级
(YTJE) / EP 级 3 种类型
◆ 根据使用特性可选择 SUS316Ti、SUS316、SUS316L 等不同材料的测压元件。
◆ 支持 G1/4、NPT1/4、9/16-18UNF、1/4VCR（M）、1/4VCR（F）等多种连接形式。
◆ 所有零部件都经过超声波纯水处理。
◆ 选用无氧真空室的高纯氩气保护焊接作业 。
◆ 产品经过严格的耐压及气密性检测。气密性可达到 1 × 10-10 Pa·m3 /s。
◆ 测量范围：-0.1~0 至 0-35MPa。
◆ 示值精度：1.5%；2.5%。

 高纯净表洁净度等级

 A 级
清洗：药液超声波清洗，纯水超声波清洗
组装调试：洁净室（洁净度 10000）
包装：N2
气体吹扫，密封包装

 BA 级
零件：（气体接触部位）机械抛光处理
清洗：药液超声波清洗，纯水超声波清洗
洁净度：等级 VI（ASME B40，1 Level）
组装调试：洁净室（洁净度 10000 ISO Class4）
工作台（洁净度 100 ISO Class2）
包装：N2
气体吹扫，PET 袋真空密封包装

 EP 级
零件：（气体接触部位）电解抛光
清洗：药液超声波清洗，纯水超声波清洗
洁净度：(ISO Class 1) 在 0.1 μ m 以上的肉眼
 不可见微粒子数量 10 个以内。
组装调试：洁净室（洁净度1000 ISO Class3）工作台（洁净度100 ISO Class2）
包装：N2 气体吹扫，PET 袋真空密封包装